Приглашаем посетить сайт
Состав электролитов и режимы анодного травления кремния
|
Состав электролита |
Режим травления | |
| Плотность тока, мА/см2 | Время, мин | |
| 10%-й раствор гидроксида натрия
Хромовый ангидрид, 2,5 г |
160 | 1 |
| Азотная кислота, 50 мл
Вода, 200 мл |
10 | 1,5-2 |
| 10%-я фосфорная кислота | 10 | 1-2 |
× Источник: Коленко Е. А. Технология лабораторного эксперимента: Справочник. -СПб.: Политехника, 1994. С. 448.