Приглашаем посетить сайт
Характеристики методов распределительного элементного анализа
| Метод | Латеральное разрешение AL | Глубина отбора аналитической информации | Предел обнаружения, г | |
| монослоев | мкм | |||
| Масс-спектрометрия твердых тел | 104 - 106 | 10 | 10-12 | |
| Лазерный микроанализ | 104 - 106 | 10 | 10-12 | |
| Электронно-зондовый микроанализ | 106 - 108 | 1 | 10-16 | |
| Масс-спектрометрия вторичных ионов | 106 - 108 | 1 -5 | 0,0005 | 10-17 |
| Оже-электронная спектроскопия | 106 - 108 | 10 | 0,005 | 10-13 |
× Источник: М. Отто. Современные методы аналитической химии. Пер. с нем. под ред. А.В. Гармаша. -М.: Техносфера, 2003. Т. 2. C. 215.