Приглашаем посетить сайт
Растворы для химического травления кремния
|
Травитель и его компоненты |
Содержание, мл | Режим травления | |
| Время, с | Температура, °С | ||
| СР-8
Азотная кислота Плавиковая кислота |
30 |
15 |
30-40 |
| СР-4А
Азотная кислота Плавиковая кислота Уксусная кислота |
50 30 30 |
60-90 |
20 |
| СР-8А
Азотная кислота Плавиковая кислота Уксусная кислота |
30 10 10 |
20-30 |
20 |
| Иодный-А
Азотная кислота Плавиковая кислота Уксусная кислота Йод |
10 5 11 0,1 |
60-120 |
20 |
× Источник: Коленко Е. А. Технология лабораторного эксперимента: Справочник. -СПб.: Политехника, 1994. С. 445.